仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
非接触，无损，光谱测量技术用来探索不同材料的电子结构。PL光谱用来用于获得不同结构或者材料的晶体结构发射信息。
主要技术指标：
最大6”衬底， 532nm 激光器，CW，50mW；半导体制冷CCD，波长200-1100nm；最小空间分辨率100μm；扫描速度快，4”晶圆0.5mm分辨率用时184s，2mm分辨率用时19s；可加装低温附件（平移台、制冷机）。
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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