仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
材料表面2D和3D测量；粗糙度（线粗糙度，面粗糙度），纳米级到微米级；材料表面波纹度，翘曲度；台阶高度，宽度； 材料表面槽深和槽宽；膜厚测量；材料表面的微观结构(体积，角度，曲率半径等)。
主要技术指标：
测量模式：垂直扫描干涉模式VSI和相移干涉模式PSI以及高级测量模式VXI；垂直测量范围：0.1nm至10mm，垂直扫描速度：可达28.1μm/s；横向分辨率：0.08至13.1μm，倾斜调制范围：6（Tip/Tilt）；视场范围：8.24mm 至0.05mm；台阶测试精度：0.75%，样品台移动范围：150mm (XY轴)/100mm(Z轴)。
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
面议
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