仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
用于薄膜的制备
主要技术指标：
1、石英腔体部分：
1.1腔体尺寸：石英腔体(GE)Φ160x700mm；
1.2加热温度： 室温～1600℃，可控可调；
1.3.加热形式：中频感应加热；
1.4.样品可旋转（0-60rpm，可控可调）；
1.5.气路系统：质量流量控制器15台（进口）；
2、金属不锈钢腔体部分：（以下为腔体可扩展使用指标）
2.1高真空反应沉积室，极限真空度优于：5Pa；
2.2.反应沉积室尺寸：φ200×300mm；
2.3.样品台尺寸为φ50mm，可旋转（速率0～60rpm连续可调）；
服务内容：
样品制备
服务典型成果：
无
用户须知：
苏州大学大型精密贵重仪器设备管理办法
苏州大学大型仪器设备收费管理暂行办法
苏州大学大型仪器设备共享管理办法（试行）
收费标准：
面议