仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
"功能：用于掩膜拷贝曝光； 应用范围：微光学、微点路、MEMS、微流道等； "
主要技术指标：
主要规格： 1、 光源：350W NUV； 2、 双CCD、双面对准系统；CCD图像倍率：180x~1200x；2个17寸LCD监视器； 3、 支持2、4、6英寸方基片；2、3、4、5、6英寸圆基片；技术指标： 1、365nm光强密度：18-20mW/cm2；400nm光强密度：30-35mW/cm2； 2、均匀性：50mm口径<±1%；100mm口径<±2%；150mm口径<±3%； 3、分辨率：0.6um（接触式）；1um（接近式）； 4、正面对准精度：±0.5um 5、背面对准精度
服务内容：
样品加工
服务典型成果：
无
用户须知：
苏州大学大型精密贵重仪器设备管理办法
苏州大学大型仪器设备收费管理暂行办法
苏州大学大型仪器设备共享管理办法（试行）
收费标准：
面议