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功能/应用范围：
ECV提供了对杂质的浓度及分布更精确可靠的测量。ECV方法利用合适的电解液即可作为合适的肖特基接触的电极测量C-V特性，又可进行电化学腐蚀，因此可以层层剥离测量电激活杂质的浓度分布，剖面深度不受反向击穿的限制，并可测量pn结。
主要技术指标：
测量频率范围347Hz~27.7kHz；标配mapping测试能力；CCD实时测量电解液润湿面积；固定电压受控腐蚀技术。
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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