仪器详情
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功能/应用范围：
最常见的扫描电子显微镜模式是检测由电子束激发的原子发射的二次电子（secondary electron）。可以检测的二次电子的数量，取决于样品测绘学形貌，以及取决于其他因素。通过扫描样品并使用特殊检测器收集被发射的二次电子，创建了显示表面的形貌的图像。它还可能产生样品表面的高分辨率图像，且图像呈三维，鉴定样品的表面结构。
主要技术指标：
分辨率高达3 nm，可以实现5~300000倍的放大，工件台范围达到80 mm (X) × 40 mm(Y) × 5~48 mm(Z)，倾斜范围为-10° ~ 90°，可实现360°旋转；最大可放置直径Φ150 mm的工件。
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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