仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
用于MOCVD设备的维护、工艺气体系统的检测与安装。
主要技术指标：
最小可检漏率 < 5 × 10-12 mbar l/s；启动时间<3min响应时间<1s；真空泵抽速32m3/h；对氦抽速(高灵敏模式)4L/s；最大入口压力 1000mbar。
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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