仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
三氯氢硅(TCS)液态储存，补充，分配，气化，对外输送，自动控制
主要技术指标：
最大设计流量2SLPM；自动供液及切换；自动保压及吹扫；独立烟雾探测功能；远程关断功能；自循环式水浴恒温控制，温度误差正负1℃。
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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