仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
高精度3D微结构、高度结构的精确测量
主要技术指标：
1 平台及其控制部分：宏微驱动方式
（1）高强度机架结构配有100mm垂直扫描范围的控制系统
（2）X-Y轴双向移动样品测试台，行程范围 150mm x 120mm，分辨率达到0.1μm
（3）驱动箱移动速度：(0.1～9)mm/sec
（4）测量速度：(0.1～3)mm/sec
（5）测头间转换使用自动鼻轮
2 白光干涉测头部分
（1）高精密Z轴移动控制：(0~10)mm
（2）4色（白、绿、蓝、红）高亮度LED光发射源
（3）5M低噪音／高像素数字相机
（4）针尖-样品倾斜阶段：6度可调
（5）尼康5
服务内容：
服务典型成果：
无
用户须知：
对外服务时间:工作日。参数：1 平台及其控制部分：宏微驱动方式
（1）高强度机架结构配有100mm垂直扫描范围的控制系统
（2）X-Y轴双向移动样品测试台，行程范围 150mm x 120mm，分辨率达到0.1μm
（3）驱动箱移动速度：(0.1～9)mm/sec
（4）测量速度：(0.1～3)mm/sec
（5）测头间转换使用自动鼻轮
2 白光干涉测头部分
（1）高精密Z轴移动控制：(0~10)mm
（2）4色（白、绿、蓝、红）高亮度LED光发射源
（3）5M低噪音／高像素数字相机
（4）针尖-样品倾斜阶段：6度可调
（5）尼康5。附件： 分析软件
收费标准：
面议