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光学轮廓仪
型号:XAM1200
制造厂商:KLA-Tencor
购置日期:
生产国别:美国
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仪器详情
用户评价
功能/应用范围:
二维、三维干涉高精度成像
主要技术指标:
RMS可重复性(标准模式):1nm 外侧面采样:0.11到8.8μm;垂直扫描范围:30μm-100μm
服务内容:
样品测试
服务典型成果:
用户须知:
按学校规定
收费标准:
面议
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