仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
微流控、SAW、半导体、自旋电子学等研究领域提供方便高效的微加工方案
主要技术指标：
最大样品尺寸 155×155×7mm
最大直写面积 149mm x 149mm
曝光光源 405 nm LED 1.5W
直写分辨率 1μm
直写速度 20mm2/min @ 1μm
对准显微镜镜头 x10
多层套刻精度 ±1μm
最小栅格精度 200nm
样品台最小步长 100nm
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
600元/小时