仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
SMIF POD自动开盒，Cassette 自动 抓取放入设备端。
主要技术指标：
1.SMIF POD自动开盒，Cassette 自动 抓取放入设备端。
2.SMIF不能产生微粒，内部环境洁净度必须达到Class1级
适用于200 mm notch晶圆。
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
500元/时
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