1，紧凑型光电子发射显微镜系统：a)分析腔：金属制作的球型超高真空器；独立的液氮冷却与PBN加热的样品台（T-sample<100K）；用于源和分析工具的法兰，如 溅射腔 ，蒸发源，光源（订购时指定）；快速进样室；用于样品传输的机械手；真空泵系统，包括离子泵（120升/秒），涡轮分子泵（67升/秒），钛升华泵（1000升/秒，在室温下），真空测量用离子规（超高真空室）和皮拉尼计（预真空）；用于分子泵上的DN63CF气动阀；真空度优于2×10E-10毫巴；b)紧凑型高真空系统：系统平台；可编程烘烤系统；系统控制器，电源柜，真空互锁；预装软件的计算机和显示器。2，集成样品架的光电子发射显微镜：安装法兰DN150 CF；高稳定的集成样品架；带有5个狭缝和实时压电驱动对准的静电四极管物镜；四象限收集器和两个可视范围2.5微米和900微米的目镜；带有通道板和低噪音闪烁荧光屏的成像系统；金属罩；集成到物镜上的压电驱动的样品台，可以提供超稳定性用于高分辨成像；样品在X和Y方向可以调节±4毫米；可以用电子束轰击方式快速加热样品到2300K（电源是可选项）；光电子发射显微镜的操作采用微处理器控制的IntelliPEEM完成；保证横向分辨率为40纳米；光电子发射显微镜的操作可以采用远程控制面板手动或者ProPEEM软件的自动控制；图像采集使用低速扫描的CCD成像单元和PCI接口插板卡。3，高压汞灯紫外光源：紫外激发源4.9V，100W；优化的聚焦；支架和真空腔的透镜可选；观察窗，对准和热过滤；长寿命和低振动的水冷。4.用于FOCUS PEEM的样品架/片5个，5个无磁不锈钢样品架；样品直径8-12毫米（8毫米开放区域）。

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