仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
样品测试，分析检测，技术咨询
主要技术指标：
分辨率：1.0nm@15kV；1.9nm@1kV；放大倍数：10x-1,000,000x；加速电压：0.02-30kV；探针电流范围：12pA-20nA；图像电平移：15um；真空模式：高真空模式；真空泵系统：机械泵+分子泵+离子泵；防震系统：内部悬臂式防震系统和外部气垫防震系统；物镜光阑：六孔光阑；冷却系统：水循环冷却系统；样品室尺寸：365mm(Ø)x270mm(h)；工作距离：0.1-50mm；附件接口：10个；样品行程：X=130mm；Y=130mm；Z=50mm；T=-3-90°；R=360°；样品台自动马达：五轴马达驱动样品台；样品台移动精度：90nm；最大样品尺寸：200mm。
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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