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仪器详情
用户评价
功能/应用范围:
纳米级稀土材料的合成
主要技术指标:
? 采用射频技术对Er、Yb、Tm、Nd等元素等离子体电离进行纳米晶合成;
? 沉积加热棒温度达1100℃;
? 温度控制精度小于0.1℃;
? 纳米生长精度50nm/s,
根据纳米生长的速度及精度进行光学反馈及控制系统:
? 光谱测量速度:200 / s;
最大功率:6kw;
功率调节: 1 %(10 % to 100 %);
? 气体流量计控制范围
O2 max 500 sccm
N2 max 500 sccm
N2O max 500 sccm
Ar max 150 sccm
服务内容:
服务典型成果:
用户须知:
收费标准:
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