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仪器详情
用户评价
功能/应用范围:
进行氮化硅、氧化硅薄膜的应力测试。
主要技术指标:
适用于4、6英寸兼容的硅片测试,测试范围正负2个GPa.
服务内容:
服务典型成果:
用户须知:
收费标准:
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