仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
主要用于微纳加工样品的结构观察及测量，也可以适用于超出视场范围大样品测量
主要技术指标：
对于标准样品，平面测量精度≤3μm+2%*L，L为测量长度；验收标准L=100mm，L=1mm量测结果L=99.9988mm，L=0.9991mm；
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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