创新赋能专项行动丨科研仪器共享②江苏第三代半导体研究院有限公司
- 时间:2025-03-19 10:00:30
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国家级创新平台
第三代半导体的“技术引擎”
江苏第三代半导体研究院有限公司2019年由江苏省、苏州市、苏州工业园区与研究院核心运营团队共建,承担国家第三代半导体技术创新中心(苏州)的主体建设任务。目前已建成材料生长、测试分析与服役评价、器件工艺、模块设计与集成应用等公共研发支撑服务平台,形成系统级全产业链支撑服务能力。研究院聚焦第三代半导体在新型显示、5G通信、电力电子、环境与健康等领域的应用,开展第三代半导体⾼质量材料制备技术、器件外延技术、芯片工艺技术、应用模块设计与集成技术、相关装备技术等关键共性技术研发和成果转移转化。
材料生长创新平台
面向新型显示、电力电子、微波射频、深紫外等应用领域,聚焦GaN、AIN单晶同质衬底和大尺寸异质衬底的材料和器件的外延生长,提供专业的定制化服务。材料平台拥有完善的设备和专业的研发团队,承担多项国家重点计划和省重点项目。 测试分析与服役评价平台
与中国科学院苏州纳米所共建,旨在建成第三代半导体领域的国家级创新型测试分析中心,自主开发包括显微缺陷、微纳结构、杂质成分、光电特性、失效模式和失效机制的系统性解决方案,可为客户提供专业、可靠的一站式解决方案。在支撑自身研发任务及合作项目的基础上,为企业、高校和研发机构提供专业高效的测试分析服务。 器件工艺平台
汇聚优势资源,建成国内首个第三代半导体器件工艺和装备公共验证平台。联合业内龙头企业共建光刻、刻蚀、镀膜、离子注入、晶圆键合等关键工艺技术研发中心,掌握UV-LED、Micro-LED、HEMT和MOSHFET等宽禁带半导体芯片核心工艺技术。开展GaN SiC等宽禁带半导体器件工艺技术研发,支撑光电子工艺、微电子工艺、光机电集成工艺技术和装备技术开发与验证。 预
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