OMBE 氧化物分子束外延设备

      与STM/SIMIS/SEM/FIB/XPS等多种表征设备通过真空管道互联，以实现准原位的材料表征，来获得薄膜制备过程中表界面原子结构和化学成分变化。同时也可以通其他生长设备比如M-MBE等用于生长异质结结构。

功能：薄膜生长和薄膜生长动力学研究；

工作压力：UHV+氧氛围；

样品尺寸: 2英寸并向下兼容小样品；

衬底加热温度：1000℃以上；

配备：臭氧发生及提纯装置。

氧化物材料制备

1. 样品中不得含有水、有机小分子等易挥发、易分解成分；多孔或易潮解样品，需提前真空干燥处理后再进样；

2. 样品2英寸尺寸可以直接从管道进样；

3. 小样品建议使用点焊机固定在旗型托上。