仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
1.LPPOLY
2.LPTEOS
3.LPSIN
4.TOX
主要技术指标：
LPPOLY
TK_U%:<2%
STRESS: -220MPa～ +50MPa可调
LPTEOS
TK_U%:<2%
STRESS: -50MPa ～ +50MPa
LPSIN
TK_U%:<2%
STRESS: 150MPa～ 1GPa可调
TOX
TK_U%: <1.5%
STRESS: -260MPa
服务内容：
不对外服务
服务典型成果：
用户须知：
1. 晶圆类型：硅片、玻璃片、陶瓷片
2. 晶圆尺寸：6寸(150mm)
3. 晶圆平边尺寸：无要求
4. 晶圆厚度：400-1000um
收费标准：
询价