苏州纳米城位于苏州工业园区，总占地面积约1800亩，是国家高端人才引领型特色载体、中国集成电路高质量发展特色园区、中国侨联新侨创新创业基地、全国为侨公共服务示范单位、国家级科技企业孵化器、全国模范劳动劳动关系和谐园区，重点发展微纳制造、新一代半导体、纳米功能材料与器件、纳米健康等纳米技术应用相关领域，2013年1月陆续投用，截至2021年9月累计建成载体近50万平方米，集聚各级领军人才超250人，入驻企业和科研机构超400家，其中科创板上市企业2家，国家高新技术企业近90家，中科院兰化所苏州研究院等中科院下属机构5家，苏州剑桥等4个国外纳米创新中心，构建了完善的纳米技术应用产业生态圈。为推动微纳制造企业中试量产，苏州纳米城建设了国内首个商业化运作的6英寸纯MEMS器件研发、中试和批量化生产基地，开展包括硅基MEMS、以及氮化镓等三代半产品工艺研发、中试、量产服务，现有设备170余台套，形成了年产30000圆片的批量生产能力。平台目前出货量排名全国MEMS代工厂前三，已服务100多家企业、300多颗产品，填补国内多个自主器件空白，部分产品世界领先，成为对中国MEMS产业支撑最大的产线，并由此积累了丰富的经验和专利。为进一步提升支撑产业的能力，平台将配合国家三代半创新中心建设，进行六寸线三代半升级及新建8寸产线，成为国内领先的MEMS、三代半综合中试量产平台，支撑我国5G通讯、电子电力、智能传感、激光雷达、3D成像及VR/AR等战略性新兴产业健康发展。