仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
分光偏光 膜厚 薄膜光学
主要技术指标：
计测波长范围：530-750nm；
膜层数：膜厚：最大6层，膜厚/光学参数：1层（最上面一层）；
入射角：70°固定；
膜厚测定范围：1nm-2μm；
样片最大尺寸：Φ200mm；
材料数据表：Si, SiO2, Si3N4, a-Si,BK7, Ta, Cu, Au, Ni, W etc。
采用分光偏光方式测量透明膜、半透明膜的膜厚和薄膜光学
常数测量。
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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