仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
主要技术指标：
工艺测试，1.三维成像，观察三维立体图。 2.运用激光扫描功能能透过不透明表层观察底部形貌。 3.长度、高度、角度、面积、体积、线粗糙度、面粗糙度、膜厚等多种测量。 4.水平方向的分辨率可达0.12μm， Z轴方向的分辨率达0.01μm。 5.各种工艺（显影、刻蚀、金属化、CVD、PVD、CMP等）后表面形貌观察，缺陷分析，台阶深度，透光膜厚测量。 6.数字图像处理：可以实现边缘增强、滤波、剖面校正、对倾斜的样品校正水平等功。
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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