超大样品仓‌：标配可搭载直径200mm样品的样品仓，能够应对最大高度为80mm、重量为2kg的样品；‌ 大视野观察功能‌：最大观察范围是直径130mm。安装有“ SEM MAP ”导航功能，只需在导航画面上指定观察目标位置，即可移动视野。此外，还配备了“ Multi Zigzag ”系统，可以在不同的视野自动拍摄多张高倍率图像，并将取得的图像拼接在一起，生成大视野高像素图像‌； 自动化功能‌：通过自动光路调整和各种自动化功能，样品设置完后立即可以开始观察。自动功能执行时的等待时间比前代机型缩短了三分之一以下。还安装有“ Intelligent Filament Technology （IFT）”软件，自动监控钨灯丝的状况，显示预计的更换时期，避免长时间测试过程中因钨灯丝使用寿命到期所造成的中断观察‌； 高灵敏度探测器‌：搭载高灵敏度 UVD 探测器，支持 CL 观察，适用于多种观察需求。还配备了高灵敏度半导体式背散射电子探测器，可以切换成分/凹凸等多种图像‌； 用户友好的操作界面‌：配备了一个鼠标即可操作的简约GUI，使得操作更加简便。此外，还支持多种自动化功能，如自动调整算法、自动聚焦等，进一步优化了操作性能‌；

二级电子分解能 3.0nm（加速电压30kV、WD=5mm、高真空模式） 15.0nm（加速电压1kV、WD=5mm、高真空模式） 背散射电子分解能 4.0nm（加速电压30kV、WD=5mm、低真空模式） 倍率 ×5～×300,000（照片倍率*1）、×7～×800,000（实际显示倍率*2） 加速电压 0.3kV～30kV 低真空度设定 6～650 Pa 图像位移 ±50µm（WD＝10mm） 最大样品尺寸 200mm直径 样品台 X 0～100mm、Y 0～50mm、Z 5～65mm、R 360°连续、T －20°～+90°、最大可观察范围 130mm直径（R并用）、最大可观察高度 80mm（WD=10mm）、电机驱动 5轴电机驱动 电子光学系统 电子枪 预对中钨灯丝电子枪、物像镜头光圈 4孔可动光圈、检测系统 二级电子检测器、高灵敏半导体背散射电子检测器、EDX分析WD WD＝10mm（T.O.A＝35°） 图像显示 自动光轴调整功能 自动光束调整（AFS→ABA→AFC→ABCC）、自动光轴调整（实时级别对齐）、自动调整光束亮度；自动图像调整功能 自动亮度和对比度控制（ABCC）、自动对焦控制（AFC）、自动标记和焦点功能（ASF）、自动灯丝饱和度调整（AFS）、自动光束对准（ABA）、自动启动（HV-ON→ABCC→AFC） 操作辅助功能 电子束旋转、动态聚焦、图像质量改善功能、数据输入（点对点测量、角度测量、文本）、预设放大、样品台位置导航功能（SEM MAP）、光束标记功能 配件 硬件:轨迹球、操纵杆、操作面板、压缩机、高灵敏度操作低空探测器（UVD）、红外CCD探测器、摄像机导航系统；软件:SEM数据管理器外部通讯接口、3D捕获、装置台移动限制解除功能、EDS集成 配件（外部装置） 能量散射X射线分析仪（EDS）、波长色散X射线分析仪（WDS）、各种外部功能台（加热台、冷却台、牵引台）

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