仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
聚焦离子束（FIB）技术利用高强度聚焦离子束对材料进行纳米加工，配合扫描电镜（SEM）等高倍数电子显微镜实时观察，成为了纳米级分析、制造的主要方法。目前已广泛应用于半导体集成电路修改、切割和故障分析等。
主要技术指标：
（1）电子束分辨率： 0.7 nm
（2）离子束分辨率： 2.5nm
（3）配有EDX元素分析功能
（4）载物台和样品
- XY 重复性：1 μm
- 最大样品高度：与共心点间距 55 mm
- 最大样品尺寸：完全旋转时 150 mm（6inch）"
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
2000~5000