仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
用于加工制备滤光片、分色滤光片、高反射膜、AR膜、长波通、短波通和多种电学薄膜
主要技术指标：
真空室直径Φ800×900；极限真空值≤3.0×10-4Pa；电阻蒸发源功率4KW（8V、600A）；E型电子束蒸发源，功率6～10KW
服务内容：
提供薄膜的工艺制备。
服务典型成果：
用户须知：
依据上海大学共享仪器相关规定执行。
收费标准：
面议