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半导体特征分析系统
型号:4200-SCS
制造厂商:美国 KEITHLEY
购置日期:
生产国别:美国
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仪器详情
用户评价
功能/应用范围:
测试氧化层厚度,栅面积,串联电阻,电压,开启电压,体掺杂,徳拜长度,体电势等等。
主要技术指标:
1个最大电压源为210V,电压最小分辨率5Uv; 2.SMU系统4个,分辨率均为0.1fA,最大电流均为100mA,测试精度10fA; 3.C-V系统,频率范围:1KHz-10MHz,偏置电压:±30V(差分模式下为±60V); 4.脉冲发生器频率:50MHz-1Hz,双通道,最小脉冲宽度为10ns@10V,50ns@40V; 5.电流测量精度:0.5%+1nA,I和V的采样率为5ns/点。
服务内容:
样品测试
服务典型成果:
用户须知:
苏州大学大型精密贵重仪器设备管理办法 苏州大学大型仪器设备收费管理暂行办法 苏州大学大型仪器设备共享管理办法(试行)
收费标准:
面议
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