仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
适用于2-6英寸衬底，1-10000转高精度旋转涂布
主要技术指标：
转速范围1-10000rmp；加速度范围1-5000rmp/sec;旋转精度±2rmp;热板：最高300度；温度分辨力0.1度（<100度）；温度均匀性<0.5度
服务内容：
适用于2-6英寸衬底，1-10000转高精度旋转涂布
服务典型成果：
为各种半导体加工材料进行旋转涂布光刻胶
用户须知：
经过培训考核通过方可独立操作
收费标准：
面议