仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
用于固体材料（主要是金属，半导体，岩石及生物样品等）的表面形貌观察。其分辨率可以达到纳米级，即可以得到几万倍的固体表面精细的微区图像。主要用于微区分析。
主要技术指标：
功能/应用范围：
用于固体材料（主要是金属，半导体，岩石及生物样品等）的表面形貌观察。其分辨率可以达到纳米级，即可以得到几万倍的固体表面精细的微区图像。主要用于微区分析。
主要附件：
SE检测器，BSE检测器，LVSTD检测器，高真空模式，低真空模式，60平方电制冷EDX，超大样品室
主要技术指标：
电子枪： 六硼化镧（LaB6） 高真空模式（二次电子）分辨率：2 nm @ 30 kV，5 nm @ 3 kV 低真空模式（背散射电子，LVSTD）分辨率：2.5 nm @ 30 kV 放大倍数：1
服务内容：
服务典型成果：
无
用户须知：
对外服务时间:周一到 周五 8：30-17：00。参数：电子枪： 六硼化镧（LaB6）
高真空模式（二次电子）分辨率：2 nm @ 30 kV，5 nm @ 3 kV
低真空模式（背散射电子，LVSTD）分辨率：2.5 nm @ 30 kV
放大倍数：1  - 1,000,000 
加速电压： 200 V - 30 kV
探针电流： 1 pA - 2 A
低真空压力范围：3～500Pa
样品台：五轴优中心马达驱动样品台
扫描速度：从20ns/像素到10ms/像素,可逐步或联系可调
图像尺寸：最大像素可达16,38。附件：SE检测器，BSE检测器，LVSTD检测器，高真空模式，低真空模式，60平方电制冷EDX，超大样品室
收费标准：
面议