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用户评价
功能/应用范围：
主要应用于半导体材料的掺杂物和杂质的表面分析和深度剖析。其为测小于230质量单位的离子质谱仪.
主要技术指标：
功能/应用范围： 主要应用于半导体材料的掺杂物和杂质的表面分析和深度剖析。其为测小于230质量单位的离子质谱仪.
主要附件： O源，Cs源
主要技术指标： 用于正离子的O2+ 一次离子束 1E17 (286) Cr 3E11 (0.01) 5E11 (0.003) Mn 5E12(0.2) 1E12 (0.008) Fe 1E13 (0.4) 5E11 (0.001) Ni 1E14 (4) 1E12(0.02) Cu 1E14 (4) 5E12 (0.1) Zn 1E15 (6) 2E12(0.05
服务内容：
服务典型成果：
无
用户须知：
对外服务时间:9:00am-6:00pm。参数：用于正离子的O2+ 一次离子束
1E17 (286) Cr 3E11 (0.01)
5E11 (0.003) Mn 5E12(0.2)
1E12 (0.008) Fe 1E13 (0.4)
5E11 (0.001) Ni 1E14 (4)
1E12(0.02) Cu 1E14 (4)
5E12 (0.1) Zn 1E15 (6)
2E12(0.05) Mo 1E14 (7)
5E12 (0.15) In 1E13 (0.8)
1E12 (0.03) W 5E13 (7)
用于负离子的Cs+ 一次离子束
H 1E17 (71)
C 2E15 (30)
N 5E13 (0.5)
O 5E15 (60)
F 1E14 (1)
P 1E13 (0.2)
S 2E14 (10)
Cl 5E14 (23)
As 1E13 (0.5)
Ge 5E13 (2.6)
Sb 1E13 (0.8)
Au 1E13 (1.4)
。附件：O源，Cs源
收费标准：
面议