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功能/应用范围：
COREMA-ER 用于测试高阻衬底上薄外延层的方阻值，例如GaN、SiCl或者蓝宝石衬底上的外延膜。作为一台高性能的方阻测试工具，可精确、重复和详细的表征半绝缘衬底的方块电阻。全晶圆横向分辨率小于1mm。可用于追踪产品控制以及支撑材料研发。
主要技术指标：
最大150mm直径样品；自调整，非接触式探头高度定位；1E5 ohm-cm~1E12 ohm-cm 拓展测试；通过测量电荷变化的瞬态谱获取高阻样品的电阻率；测量范围 GaAs 1E6-1E9 ohm-cm, SiC 1E5-1E12 ohm-cm；重复性优于1% (1E6-1E9 ohm-cm)；最大数据点512×512。
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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