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功能/应用范围：
元素的定性分析。可以根据能谱图中出现的特征谱线的位置鉴定除H、He以外的所有元素。
元素的定量分析。根据能谱图中光电子谱线强度（光电子峰的面积）反应原子的含量或相对浓度。
固体表面分析。包括表面的化学组成或元素组成，原子价态，表面能态分布，测定表面电子的电子云分布和能级结构等。
化合物的结构。可以对内层电子结合能的化学位移精确测量，提供化学键和电荷分布方面的信息。
主要技术指标：
聚焦Al Kα单色化X射线源
实现X射线激发二次电子影像（SXI）（带有形貌信息的二次电子像）
五轴样品台 ：可实现 0~90º倾斜用于角分辨分析，角度分辨≤±1º； （变角范围大）
双束中和系统：（非常特别的一种无需校准的中和系统）
团簇离子枪（GCIB）：（特别适合用于锂电中SEI膜的研究）
紫外光电子谱（UPS ）
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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