纳米加工平台是利用微纳米尺度的加工手段进行电子、光电子器件、微纳光机电系统、生物芯片和各种传感器开发的技术支撑体系。作为中国科学院、江苏省和苏州市的公共服务体系，加工平台既为研究院所和大学的科研开发活动提供服务，也为企业的纳米技术研究和产品开发提供全方位的开放服务。同时，平台为企业培养纳米技术人才。平台装备建设投资1亿元，工艺加工、工艺测试和器件封装等大型设备近百台套，超净实验室5500平方米。 目前已建成2-6"MEMS加工线（含生物芯片），2-6" III-V器件加工线，2-6" GaN基器件加工线及器件设计中心等。 服务方式： 1） 用户通过培训后可利用平台进行自主研发工作； 2） 为用户提供技术咨询； 3） 联合用户进行科研项目和产品研发； 4） 提供超净环境； 5） 接受用户的技术委托开发； 6） 技术人员培训和研究生培养；