仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
SEM:形貌分析、尺寸分析、膜层分析；
EDS:元素定性和半定量分析、失效分析
主要技术指标：
（1）分辨率：3.0nm@30kv（SE and W）
（2）放大倍数： 7-200,000×（底片放大）
样品室：310mm（φ）×220mm（h）
（3）元素分析范围: 4Be～92U
服务内容：
观测材料的截面结构与材质，定点分析芯片缺陷，观察IC内部信号。观看内部横断面蚀刻和涂层保护用电子束金属沉积超薄样品制备(lt;500a)。
服务典型成果：
服务企业超过60多家。
用户须知：
申请前请联系我单位咨询
收费标准：
100元/个