仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
提供能谱仪和背散射衍射仪的探头接口和电子束外部控制接口。提供与能谱仪形成一体化的接口(采用TCP/IP方式,提供电镜方软件)，配合能谱仪一方实现对扫描电镜镜筒参数的控制。
主要技术指标：
1.电子光学工作模式
1.1分辨率：依据所选择的工作条件，自动配置镜筒参数而得到最佳的分辨率；
1.2景深：在此模式下可以加强对景深的聚焦；
1.3视野模式：观察视野可达3cm，可在较大区域内观察样品，获取图片 ；
1.4大视野：优化镜筒结构后可得到特大视野不变形图象；
1.5摇摆电子束：采集电子通道花样（ECP），可获得样品晶体方向的工作模式。
2. 高真空下的分辨率（二次电子）：30KV下3.0nm；3KV下8.0nm。
3. 放大倍数：3x？D1,000,000x 连续可调。
4.加速电压：200V至30KV。
5.电子枪：钨灯丝；探针电流：1pA至2uA。
6.样品室
内部直径：300mm(宽)x 330mm(深) ，门宽： 280mm(宽)x 310mm(高)，接口数：9+。
7.样品台
类型：计算机化优中心。
移动行程：X=130mm？D？D马达驱动；
Y=130mm？D？D马达驱动；
Z=100mm？D？D马达驱动。
旋转：360度连续可调？D？D马达驱动。
倾斜：-20度？D80度？D？D马达驱动。
最大样品高度:143mm。
8 .探头
8.1 ET型二次电子探头（YAG 闪烁体）；
8.2可移动式背散射电子探头（YAG闪烁体）？D可移动环行闪烁体类（YAG闪烁体）具有高灵敏度和原子序分辨率（0.1）。
9 .样品室真空：高真空模式？s<9×10-3Pa 。
10.镜筒真空： <9×10-3Pa。更换样品后抽真空时间？s 一般<3分钟。
11.样品室和镜筒减振：气垫。
12.显微镜控制：显微镜的所有功能都由键盘,鼠标和轨迹球通过Window™平台上的Vega TC软件控制。
13. 计算机两台，打印机一台。
14. 远程控制：通过TCP/IP。
15. 图象显示：22寸液晶显示。
16 .图象尺寸：最大为8192×8192象素,扫描窗口大小可分为4档，存储窗口可分为10档。可为正方形，4:3或2:1的矩形。
17 .扫描：扫描速度？s从200ns至10ms/每个象素可阶段或连续式的调整。
聚焦窗口？s形状，尺寸和位置都可调整。
动态聚焦，点&线扫描，三维(3D)实时立体图像观察。
18 .自动操作
真空控制
灯丝加热(升灯丝)
电子枪合轴
分辨率模式的对中
加速电压的补偿
探针电流优化束斑直径
束斑直径优化放大倍数
扫描速度（根据信号？D噪音？D速率）
对比度&亮度
聚焦&消象散
观察表格
服务内容：
服务典型成果：
无
用户须知：
对外服务时间:工作日。参数：1.电子光学工作模式
1.1分辨率：依据所选择的工作条件，自动配置镜筒参数而得到最佳的分辨率；
1.2景深：在此模式下可以加强对景深的聚焦；
1.3视野模式：观察视野可达3cm，可在较大区域内观察样品，获取图片 ；
1.4大视野：优化镜筒结构后可得到特大视野不变形图象；
1.5摇摆电子束：采集电子通道花样（ECP），可获得样品晶体方向的工作模式。
2. 高真空下的分辨率（二次电子）：30KV下3.0nm；3KV下8.0nm。
3. 放大倍数：3x？D1,000,000x 连续可调。
4.加速电压：200V至30KV。
5.电子枪：钨灯丝；探针电流：1pA至2uA。
6.样品室
内部直径：300mm(宽)x 330mm(深) ，门宽： 280mm(宽)x 310mm(高)，接口数：9+。
7.样品台
类型：计算机化优中心。
移动行程：X=130mm？D？D马达驱动；
Y=130mm？D？D马达驱动；
Z=100mm？D？D马达驱动。
旋转：360度连续可调？D？D马达驱动。
倾斜：-20度？D80度？D？D马达驱动。
最大样品高度:143mm。
8 .探头
8.1 ET型二次电子探头（YAG 闪烁体）；
8.2可移动式背散射电子探头（YAG闪烁体）？D可移动环行闪烁体类（YAG闪烁体）具有高灵敏度和原子序分辨率（0.1）。
9 .样品室真空：高真空模式？s<9×10-3Pa 。
10.镜筒真空： <9×10-3Pa。更换样品后抽真空时间？s 一般<3分钟。
11.样品室和镜筒减振：气垫。
12.显微镜控制：显微镜的所有功能都由键盘,鼠标和轨迹球通过Window™平台上的Vega TC软件控制。
13. 计算机两台，打印机一台。
14. 远程控制：通过TCP/IP。
15. 图象显示：22寸液晶显示。
16 .图象尺寸：最大为8192×8192象素,扫描窗口大小可分为4档，存储窗口可分为10档。可为正方形，4:3或2:1的矩形。
17 .扫描：扫描速度？s从200ns至10ms/每个象素可阶段或连续式的调整。
聚焦窗口？s形状，尺寸和位置都可调整。
动态聚焦，点&线扫描，三维(3D)实时立体图像观察。
18 .自动操作
真空控制
灯丝加热(升灯丝)
电子枪合轴
分辨率模式的对中
加速电压的补偿
探针电流优化束斑直径
束斑直径优化放大倍数
扫描速度（根据信号？D噪音？D速率）
对比度&亮度
聚焦&消象散
观察表格
。附件：1.能谱仪
型号：INCA Energy (IE350)
技术指标：
探测器：Si(Li)探测器
分辨率：Mn Ka峰的半高宽优于133eV；
C ka峰半高宽优于66eV；
F ka峰半高宽优于70eV。
实测MnKa/CKa/Fka峰位与理论峰位的偏差小于5ev；峰位漂移:<5ev。
元素测试：Be4？C U92。
2. INCA Synergy EBSD系统
技术指标：
探测器：Nordlys
探测器灵敏度：加速电压在3kV时，能采集到花样。
系统自带一万种以上无机物及金属材料标准数据库，能对所有11种劳厄群的晶体进行衍射花样的分析与标定。
分析软件：HKL Chanel 5。
收费标准：
面议