仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
Olympus（奥林巴斯）生产的MX61L半导体检查显微镜，具有高倍率（目视可达10000倍，电子成像可达50倍），大数值孔径0.9，可通过明暗视场法，保证卓越的图像分辨率和鲜明度。切换物镜时自动调节连动的亮度光圈等，实现了舒适的检查环境。配备14×12英寸载物台，能应对大型样本，如300mm硅片。
主要技术指标：
最大Wafer尺寸： 300mm
光学系统： UIS2光学系统（无限远校正）
照明： 透射，100W卤素灯泡
明暗场： 明场，暗场Optional
对焦： 手动
目镜： 100x
物镜： 电动五孔转盘,现有物镜 1.25x，5x, 20x, 50x,100x
数值孔径： 最高可达0.9
成像透镜： 0.5x
载物台行程: 14×12英寸右下手柄：356（X）×305（Y）mm
外形尺寸： 710（W）×843（D）×507（H）mm
服务内容：
服务典型成果：
无
用户须知：
对外服务时间:工作日。参数：最大Wafer尺寸： 300mm
光学系统： UIS2光学系统（无限远校正）
照明： 透射，100W卤素灯泡
明暗场： 明场，暗场Optional
对焦： 手动
目镜： 100x
物镜： 电动五孔转盘,现有物镜 1.25x，5x, 20x, 50x,100x
数值孔径： 最高可达0.9
成像透镜： 0.5x
载物台行程: 14×12英寸右下手柄：356（X）×305（Y）mm
外形尺寸： 710（W）×843（D）×507（H）mm 。附件：相机 Panasonic
附件 显微视频测量系统
收费标准：
面议