仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
分析材料微观组织结构，测定元素组成。
主要技术指标：
1 电子光学系统
1.1 分辨率：二次电子（SE）像
15 kV时优于1.0 nm，1 k V时优于1.4 nm (不采用减速模式情况下)， 30KV 时优于0.8nm（STEM探头使用时）
1.2 着陆电压：50V ～ 30 kV
1.3 电子枪：Schottky肖特基场发射电子枪
1.4 电子束流：0.6pA ～ 200 nA，连续可调
1.5 物镜光阑：物镜光栏应能自加热自清洁；无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑。
2 样品室和样品台
2.1 样品室：
样品室左右内径379mm
分析工作距离5mm
21个探测器/附件接口
2.2 样品台：五轴马达驱动，移动范围：
X≥ 110mm，Y≥ 110mm，Z≥ 25mm，T≥ -15～+75°，R= 360°连续旋转；
3.探测器：
3.1 二次电子探头：
普通二次电子检测器;
极靴内二次电子探测器 (可探测二次电子、背散射电子或二者的混合像);
低真空二次电子探测器;
3.2 镜头安装定向背散射电子探测器
3.3 可伸缩STEM探头
3.3 样品室IR-CCD相机
3.4 光学导航系统
3.5 等离子清洗系统
4 真空系统
4.1 完全无油真空系统
4.2 涡轮分子泵(220 l/s)和2台离子泵
4.3 前级机械泵
4.4 样品室真空度：高真空模式优于6×10-6 mBar （24小时抽真空后）；
低真空模式压力< 2 mBar；
5 数字图像记录系统
5.1 图像扫描：100%数字化扫描，最大扫描和成像3584×3094像素
5.2 图像显示：1280×1024像素，24” LCD显示器
5.3 单幅图像显示或4幅图像同时显示（四活动窗口）
5.4 图像记录：TIFF（8位，16位或24位），BMP或JPEG可选
5.5 图像处理：最大4096 x 3536图像扫描
5.6 256幅平均或积分处理
6 控制和数据处理系统
6.1 操作方式：键盘、鼠标
6.2 可自动调节：电子枪对中、真空控制、亮度与衬度、调焦和象散、动态聚焦、倾斜补偿
7 标准应用软件
7.1 应具有样品台图像导航功能
7.2 应具有双击鼠标移动样品功能
7.3 应具有鼠标拖曳式放大及对中功能
服务内容：
无
服务典型成果：
无
用户须知：
收费标准：
面议