仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
适用于评估和控制在半导体生产中的外延过程，可以方便直观的测量半导体材料内部的掺杂元素的浓度分布情况，以及PN结形成情况，用于太阳能电池或其它半导体器件工艺优化研发。
主要技术指标：
垂直方向分辨率达到1纳米，测试载流子浓度范围在10E12cm-3 < N < 10E21cm-3
服务内容：
无
服务典型成果：
无
用户须知：
收费标准：
面议