仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
支持器件、材料、半导体、有源/无源/器件等电气表征和测试，具体包含但不限于以下内容：
CMOS晶体管、存储器、功率器件、纳米器件、可靠性测试
主要技术指标：
1） 高功率SMU模块：电流测量最小分辨率≤10fA
2） 中功率SMU模块：电流测量最小分辨率≤10fA，电压测量最小分辨率≤0.5uV；
3） 高分辨率SMU模块：电流测量最小分辨率≤1fA，电压测量最小分辨率≤0.5uV
4） 前置放大模块：可将电流测量最小分辨率提高至0.1fA
5） 电容测试模块：频率范围1kHz~5MHz,电容测量精度±0.11%
6） 脉冲发生器模块：最高输出电压40V
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
询价