仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
1、对所有类型样品提供表面及横截面微细结构观察及分析；
2、针对多层结构样品提供精准的膜厚量测及标示；
3、借由EDS的X光谱线分析对材料做定性及半定量分析或特定区域的点，线，面的成份分布分析；
4、借由低能量的电子束扫描做被动式影像对比(Passive Voltage Contrast, PVC)对于不良漏电或接触不良的组件损坏可以精准的定位，提供异常分析之判断；
5、样品借由层次去除技术(Delayers)，提供SEM做电路自动连拍拼接生成的图文件，可以与光学显微镜生成的图像做纵向连结，提供电
主要技术指标：
1、分辨率0.2um 2、放大倍率；800K 3、加速电压 30kv 4、低压范围 大于0.2kv 5、探针电流 10PA 6、样品室 4寸硅片 7、样品台 8、倾斜角 小于60度
服务内容：
服务典型成果：
无
用户须知：
对外服务时间:24小说集。参数：1、分辨率0.2um 2、放大倍率；800K 3、加速电压 30kv 4、低压范围 大于0.2kv 5、探针电流 10PA 6、样品室 4寸硅片 7、样品台 8、倾斜角 小于60度。附件：带全元素的EDX附件
收费标准：
面议