仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
分析物质内部结构
主要技术指标：
二次电子分辨率 3.0nm（高真空，30kV） 背散射电子分辨率 4.0nm（低真空：60Pa，30kV） 倍率 5 ~ 300,000倍 加速电压 0.3~30 kV 样品台 X 0~80mm Y 0~40mm Z 5~50mm T -20~80mm R 360° 样平台控制 手动（可选：2轴马达） **载入样品尺寸 直径：153mm **观察范围 直径：126mm（XYR并用） **样品高度 60mm (WD=15mm) 低真空范围 6-270Pa（从菜单设定） 灯丝 预对中钨灯丝 物镜光阑 4孔可变光阑 枪偏压 固定比例偏压、手动偏压、自动4偏压 检测器 二次电子检测器，高灵敏度半导体背散射电子检测器 EDX分析位置 WD=15mm,TOA=35° 真空系统 分子泵1台，机械泵1台 安全措施 停电，漏电，自动保护
服务内容：
样品测试、分析检测
服务典型成果：
无
用户须知：
通过纸质申请，经同意后使用
收费标准：
面议