仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
各类MEMS器件的设计研发，包括版图设计，工艺设计仿真，器件级多物理场耦合分析，以及系统级MEMS-IC联合仿真
主要技术指标：
直角坐标和极坐标格点辅助创建器件的最优化模型；对齐网格或对齐点(包括中点、交点和分割点等)；输入版图(GDS，DXF或VEC格式)优化模型；对指定部分进行网格细分，如蛛网式、拉链式和发散式等；兼容ANSYS、ABAQUS、PATRAN、I-DEAS格式；能求解大规模矩阵；方便地修改结构厚度和间隙；自动验证网格质量与正确性；由二维版图直接生成模型并划分成六面体网格；自动校正不连通的网格(网格数量较少的情况下)；建立斜面网格。
服务内容：
MEMS器件的设计和仿真分析
服务典型成果：
无
用户须知：
周一至周五，8:00-17:00
收费标准：
面议