仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
本设备主要用于 8英寸硅基 OLED微型显示器的盖板玻璃清洗、检查、涂胶贴合工艺。工艺过程说明及传送作业：成品盖板玻璃Tray盘清洗干燥→自动开盖→检查→全自动玻璃和晶圆分别自动装载到机台 →晶圆对位 →涂胶 →对位 →取玻璃 →放置 →固化→EFEM下料
主要技术指标：
放置位置精度： ±10微米，放置重复精度： ±5微米；
产品取放压力： 10-500克，压力公差：±1g(0-100g ) ±5g(100-500g)；
X/Y轴移动精度 ≤ 5微米，X/Y轴重复精度 ≤ 3微米；
Z轴（若需要）移动精度 ≤ 1微米，Z轴（若需要）重复精度 ≤ 1微米；
Theta轴移动精度： 0.1度，Theta轴重复精度： 0.1度；
边缘溢胶量可控制在： >0且 ≤ 20微米（包括玻璃所有四个边和角的胶溢出量）
产品贴合对位精度：20微米；
贴合后胶厚度：5微米（产品ǯ 怂占ᲀ ᲀ뗐窡 窡占ᲀ�窥占ᲀ먡窡
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
2000元/时