仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
晶圆表面清洗，颗粒去除；
主要技术指标：
1.晶圆清洗，颗粒增加量：1μm<2颗，0.3μm<10颗，0.2μm<20颗；
2.颗粒去除效率：≥98%@0.20μm；
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
2000元/时