仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
1、配备有肖特基场发射电子枪，低电压下具有很高的图像分辨率，可观察样品的二次电子成像；
2、配备有背散射探头，可观察样品不同成分衬度；
3、配备EBIC模块检测材料中的杂质缺陷和掺杂浓度分布；
4、光电附件可以实现光电联用操作，实现联合定位查找。
5、配备Oxford 能谱仪，可进行元素分析。
主要技术指标：
1、二次电子像分辨率：≤1.0nm@15kV，≤1.8nm@1kV；
2、电子束加速电压：0.02kV-30kV；
3、放大倍率：12～1,000,000倍；
4、能量分辨率：MnKa保证优于127eV，元素分析范围不小于B5-C198。
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
600元/小时