仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
Oxide释放
气相VHF，湿法BOE
Polymide释放
02 plasma
主要技术指标：
见图
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
1. 晶圆类型：硅片
2. 晶圆尺寸：6寸、8寸
3. 晶圆平边尺寸：无要求
4. 晶圆厚度：400-750um
收费标准：
按照项目成本核算报价