主要性能指标 (1)扫描器 1) 原子力显微镜平台扫描器二个高分辩扫描器: XY:12um, Z:2.5um （可实现原子分辨测试，噪音水平低于0.03nm）高分辨大范围扫描器：XY:125um, Z:6um （可实现原子分辨测试，噪音水平低于0.03nm） 2) 进针方式:智能自动进针方式( 采用马达加压电陶瓷自动探测的智能进针模式,保护探针及样品,可更容易的得到高分辩的测试要求) 3) 原子力显微镜扫描器为样品扫描方式，高分辩扫描器（热飘移水平低于1nm） 4) 原子力显微镜大范围扫描器要求，XY方向必需大于或等于125微米 5) 扫描隧道显微镜平台扫描器二个高分辩扫描器: XY:10um, Z:2um （可实现原子分辨测试）高分辨大范围扫描器：XY:0.4um, Z:0.4um （可实现原子分辨测试 ） 6) 扫描隧道显微镜扫描器为探针扫描方式，高分辨扫描器 (2)SPM控制系统及功能 1) 系统可实现LiftMode的控制，抬高模式（对于表面磁学，电学特征的表征） 2) 控制精度：扫描的数字分辨率就不依赖于扫描尺寸和偏移量。在不更换扫描器的情况下，给所有的扫描轴上的形状和偏移量提供不小于16位（216=65，536）的分辨率。 3) 定量相位成像模块：－180?到＋180?全线性相位成像 4) 控制单元精度 X方向：三个独立16位DAC Y方向：三个独立16位DAC Z方向：三个独立16位DAC (3)系统配套部分 1) 光学系统：在操作原子力显微镜、扫描隧道显微镜的同时，可获得光学图象，10倍Nikon物镜(工作距离：49.5mm; 数值孔径：0.2; 分辨率：1.6μm)，垂直方向移动范围超过400mm 2) 液体环境, ECAFM, ECSTM 分别提供不同的液体环境系统 3) 防震：落地桌式防震台，气体浮动平台，可实现原子像测试要求。 4) 2*19”液晶显示器、1*13”彩色监视器、长时间操作稳定性高的电脑(Intel Pentium 4 – 2.0GHz or above;160GB IDE hard disk; 1GB DDR RAM; 128MB quality 3Dgraphicscard； Network card)

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