仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
能够在透射电镜（TEM）内为样品提供可加热的气氛环境。使得TEM能够观察样品的微观结构（例如原子结构）在气氛环境中的演变过程
主要技术指标：
”空间分辨率 高于1.5? （取决于透射电镜）
加热温度范围 室温至1000℃
最大升降温速率 5℃每秒
热漂移速率 1.8nm/min （取决于环境状态）
温度误差 ＜5%
气体压力范围 1 - 760 Torr (1.33 - 1000 mbar)
系统控制 Protochips Clarity 软件
温度控制方式 闭环反馈控制
气体源 3路
烘烤功能 有
加热薄膜材料 陶瓷-化学惰性，高度热稳定
芯片窗口厚度 非晶氮化硅-窗口芯片50纳米，加热芯片30纳米
流速范围 0.1 sccm (1.2 mTorr-L/s)
样品杆气体接口数量 2
样品杆端部O型密封圈数量 1 （全氟橡胶）
标称气层厚度 5 微米 （芯片垫片厚度）
管路材质 电抛光316不锈钢
倾转角（Atmosphere UHR/EDS样品杆，JEOL UHR极靴） 16o/-9 o
气体兼容性 H2，N2，O2，Ar，He，天然气等（详询Protochips）”
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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