仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
可用于MEMS表征、厚膜测量、光学元件、半导体器件表面形貌测量、机械加工部件粗糙度测量以及表面质量和缺陷的检测等。
主要技术指标：
测试样品表面三维形貌
服务内容：
可用于MEMS表征、厚膜测量、光学元件、半导体器件表面形貌测量、机械加工部件粗糙度测量以及表面质量和缺陷的检测等。
服务典型成果：
可用于MEMS表征、厚膜测量、光学元件、半导体器件表面形貌测量、机械加工部件粗糙度测量以及表面质量和缺陷的检测等。
用户须知：
按照设备预约规定使用
收费标准：
160元/小时，15分钟为基本时间单元。