仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
完成MEMS器件谐振频率测试；MEMS器件模态测试；MEMS器件三维形貌测试；
主要技术指标：
可测振动频率范围：1 GHz ~ 10 GHz； 可测振动位移分辨率：＜ 0.06 pm/√Hz； 可测振动频率分辨率：＜ 10 Hz； 可测振动空间分辨率：＜ 1μm；
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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